真空碳管爐真空系統(tǒng)采用油擴散泵、機械泵、機械泵上設有電磁閥，高、低真空閥為氣動擋板閥，配合數(shù)顯復合真空計和PLC實現(xiàn)高、低真空自動切換。電控系統(tǒng)主回路為低電壓大電流輸入，控制柜體西門子標準制作。進口數(shù)顯程序控制儀完成升溫和降溫過程自動控制，控制本面板上設有圖形模擬屏，人性化設計，操作直觀簡單，控制回路具有斷水、超溫、過流等聲光報警和自動保護功能。

　　真空碳管爐它是由油擴散泵、機械泵以及真空閥等組成，真空閥門為氣動擋板閥及氣動蝶閥，可通過PLC控制實現(xiàn)高、低真空自動切換。真空測量粗真空由園形彈簧真空計測量，低真空由熱偶真空計，高真空由電離真空計測量。調(diào)壓控制柜上可控硅調(diào)壓裝置由旋動手動調(diào)節(jié)，也可自動控制，380V兩相電源經(jīng)過降壓變壓器，電壓降到33V，然后經(jīng)過電纜再送到電極上。溫度控制由進口程序控溫儀控制等。設備配有模擬屏，能顯示當前系統(tǒng)工作狀態(tài)。冷卻水由總管進入，經(jīng)過各支管送到爐殼、爐蓋、爐底、電極、擴散泵和機械泵等需要冷卻的地方，然后匯總到水箱排出。每路冷卻水都有手動閥門，可以按照需要調(diào)節(jié)流量大小。進水管上設有電接點壓力表，當水壓低于0.1MPa時，可自動切斷加熱器。